
金属有机化学气相沉积:被忽略的腔室壁沉积痛点
上周整理旧实验本,翻出去年调外延片的记录,还是忍不住叹气。那批6英寸GaN外延片,连续三批边缘漏电良率掉了20%,一开始换源气、换衬底、调温度,折腾了快两周,啥用没有。最后拆腔才找到问题——腔室壁沉积掉渣了。 藏在干净腔室里的隐形废料 金属...

上周整理旧实验本,翻出去年调外延片的记录,还是忍不住叹气。那批6英寸GaN外延片,连续三批边缘漏电良率掉了20%,一开始换源气、换衬底、调温度,折腾了快两周,啥用没有。最后拆腔才找到问题——腔室壁沉积掉渣了。 藏在干净腔室里的隐形废料 金属...

去年给珠三角某三代半器件厂做工艺验证,整批6英寸GaN量子阱片直接报废。原子力扫出来中心平整度0.12nm,每层厚度误差不到0.1个原子层,结果一做器件测试,整片阈值电压分散度干到18%,完全达不到出货标准。问题出在哪?分子束外延本身的毛病...

上周帮朋友的加工厂调新线,刚拆封的设备,上来第一炉就翻了车。整批零件镀出来,手指一刮膜就掉,全废。 新来的工艺员蹲在真空室门口挠头,说参数全按供应商给的工艺卡填的,怎么会出问题。 进真空室之前,先擦三遍地 很多人入行学真空镀膜,第一反应就是...

去年给北方某钢厂做循环流化床风口套防护,按行业最优参数配的料,喷了80道厚度2.1mm的Al₂O₃-TiO₂涂层,供应商拍胸脯说至少扛12个月磨损腐蚀。结果投产第37天,停机检查,涂层掉了整整三分之一块,漏出基体直接锈穿! 涂层结合力,说出...

上次在南方一家耐磨件厂蹲点调工艺,踩了个半年都没踩出来的坑。说出来你可能不信,整批辊套的涂层结合力不合格,换了三批粉末,重调了三次火焰参数,还是过不了盐雾测试。 最后拆了送粉管路才发现问题,不是参数不对,是管子磨偏了。 看不见的粒子速度,才...

去年某热轧厂的支撑辊失效,整批返工,我们亏了近八十万——那活儿用的就是行业吹得神乎其神的爆炸喷涂碳化钨涂层。 号称能扛三年磨损,八个月就裂了半平米的涂层块,钢厂直接停线三天,损失算到我们头上。 你真的看懂爆炸喷涂的“爆炸”了吗 很多人听名字...

上个月帮一家做能源设备的朋友处理叶片损伤修复,指定要用冷喷涂补铝涂层。本来以为是顺手的活,结果前两批全出了问题。 冷喷涂到底是个什么工艺 很多人听过名字,没见过实际干活。简单说,和你知道的所有热喷涂、熔覆都不一样。它全程不熔化粉末。靠高压氦...

去年某航天院所送过来的钛合金叶片修复件,过了117小时的高温疲劳测试,断口从沉积结合面撕开了。我们切了样做电镜,热影响区的裂纹居然藏了快1.2毫米,从沉积第一层就开始长。 谁能想到?大家吹定向能量沉积能做大尺寸整体件,能修复高价值零件,说精...

去年深秋去珠三角一家做牙科修复体的工厂调线,刚进车间就看到地上堆了半箱烧好的氧化锆牙冠,全是废品。裂纹都在颈缘位置,不仔细看根本发现不了,探伤扫出来,每三箱里能挑出一箱半不合格。业主换了粉料,换了烧结炉温曲线,都没用。找到我们的时候,所有人...

去年给某航天院所做的一批钛合金承力支架,打印完探伤,孔隙率0.8%,符合国标要求,客户拿去做疲劳测试,3万次循环直接断成两截。一百二十万的研发费,打了水漂。 没人愿意说这个事,毕竟现在三维打印是资本风口,说坏话砸人饭碗。干工艺十五年,摸过的...